據國家知識產權局公告,華為技術有限公司申請一項名為“一種電容結構、電容陣列、存儲器及電子設備“,公開號CN117766593A,申請日期為2022年9月。
專利摘要顯示,本申請提供了一種電容結構、電容陣列、存儲器及電子設備,電容結構包括至少一個第一極和第二極連接的場效應晶體管,該場效應晶體管包括疊層結構、溝道層、柵氧化層和柵極,疊層結構包括依次層疊設置的第一極、介質層和第二極,且疊層結構上開設有溝槽,溝槽的開口位于第二極的上表面,溝槽貫穿第二極和介質層。溝道層覆蓋溝槽的側壁和底部,柵氧化層覆蓋溝道層,柵極填充于柵氧化層所限定的區域且從溝槽中溢出。采用上述場效應晶體管構成電容結構可以減小面積開銷,可以增加電容陣列的電路密度,并采用電容陣列作為冗余存儲陣列,可以增加存儲器的存儲密度。